Detalls del llibre
El objetivo de este libro es divulgar las técnicas más utilizadas para fabricar microsistemas basados en silicio. La novedad que aporta este trabajo es describir y mostrar detalladamente el proceso de fabricación de un Microsistema en una Sala Blanca. En la primera parte del libro se hace una introducción teórica a los acelerómetros en general y a los acelerómetros piezorresistivos en particular. En la segunda parte se muestra día a día su proceso de fabricación, en el "Diario del proceso". Para una mayor compresión, esta segunda parte se refuerza con un conjunto de videos, en los cuales se muestran las etapas más importantes en el proceso de fabricación de microacelerómetros.
Llegir més - Autors María Cruz Acero Leal, Jaume Esteve Tintó, JOSE ANTONIO PLAZA, Robertson-Lorant, Emilio Tamayo D'Ocón
- ISBN13 9788400091637
- ISBN10 8400091639
- Any Edició 2010
- Fecha de publicación 01/10/2010
- Idioma Castellà
Ressenyes i valoracions
Microtecnología: diario de un proceso (Castellà)
- De
- María Cruz Acero Leal, Jaume Esteve Tintó, JOSE ANTONIO PLAZA, Robertson-Lorant, Emilio Tamayo D'Ocón
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- Consejo Superior de Investigaciones Científicas (2010)
- 9788400091637



